#工業(yè)型蠕動泵
WG600S
參考流量：0.4～13.2L /min
WG600S工業(yè)調(diào)速型蠕動泵，適用于工業(yè)場所大流量傳輸液體。直流無刷電機驅(qū)動，免維護，動力更強勁；具有啟停、正反轉(zhuǎn)、全速、調(diào)速、狀態(tài)記憶等基本功能；可級聯(lián)雙泵頭。RS485通訊，兼容Modbus協(xié)議，更易于與其他控制設(shè)備如計算機、人機界面、PLC等連接。
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蠕動泵的應(yīng)用十分廣泛，如果你認(rèn)為只有在和流體相關(guān)的行業(yè)使用蠕動泵產(chǎn)品那就大錯特錯了，下面小編為大家詳細(xì)講解泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。
半導(dǎo)體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動，苛刻的應(yīng)用之一是化學(xué)機械平坦化（CMP）。當(dāng)CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時，它會對產(chǎn)量，化學(xué)品使用和材料完整性產(chǎn)生極大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機時間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導(dǎo)致的一些問題。
蠕動泵非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境，對于CMP，提供了在拋光過程中的使用點漿料流分配到晶片所需的線性和可重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內(nèi)控制流量，以保持過程的完整性。
漿料的性能可實現(xiàn)的晶圓平面度，微型蠕動泵通過控制漿料輸送和分配，有助于實現(xiàn)這一目標(biāo)。小流量蠕動泵的非侵入式設(shè)計提供了直的流動路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速達(dá)到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料，化學(xué)品和去離子水的浪費。
使用注意事項
1、使用壓管的時候，注意不要把軟管壓的太死，以免造成軟管的過度磨損。
2、泵管進(jìn)口盡量短，蠕動泵管接頭及直徑不得小于被蠕動泵頭卡住的管道直徑
3、恒流泵在使用過程中，要及時產(chǎn)看管路的磨損情況，要及時更換，以免造成液體的泄露。
4、注意工作環(huán)境，是在常溫還是有腐蝕的環(huán)境，泵殼的材質(zhì)要及時變換。
產(chǎn)品推薦
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#調(diào)速型蠕動泵
WT300S（v3）
參考流量：0.004～3850mL/min
WT300S調(diào)速型蠕動泵是雷弗根據(jù)市場需求在原有WT300S的基礎(chǔ)上推出的升級新品。產(chǎn)品 使用cortex m3內(nèi)核處理器，運行速度更快，設(shè)備轉(zhuǎn)速精度更高。顯示由數(shù)碼管升級為液晶顯 示，中英文顯示,更加直觀。新增緩?fù)９δ?，讓設(shè)備運行更可靠，RS485通訊在MODBUS基礎(chǔ)上 增加更多的設(shè)定，適應(yīng)不同通訊設(shè)備要求WT300S調(diào)速型蠕動泵還可外接熱敏打印機，打印設(shè) 備的運行參數(shù)等信息?？梢詮目刂泼姘迳献詣忧袚Q外部模擬量調(diào)速信號類型（電壓或電流）， 更加方便快捷。
